NPF:ナノプロセシング施設
本文へ移動する
メニュー
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
ナノプロセシング施設
装置の紹介
ご利用手順
各種資料
アクセス方法
お問い合わせ
メニュー
閉じる
ナノプロセシング施設
装置の紹介
ご利用手順
各種資料
アクセス方法
お問い合わせ
サブメニュー
利用料金
質問集
プライバシーポリシー
リンク集
産総研ARIMポータルへ
NPFホーム
ポータルサイトに戻る
ユーザーログイン
パスワードをお忘れの方はこちら
既にログインしている方はこちら
ログアウトする方はこちら
利用者登録
メニュー
利用料金
質問集
プライバシーポリシー
リンク集
産総研ARIMポータルへ
マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
2024年5月9日
【2024/7/10開催】2024年度第1回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~最先端デバイス技術~
2024年2月19日
ナノプロセシング施設 令和6年度課題登録開始について
2023年12月25日
【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術~ 進化する電子ビーム露光装置 ~
2023年10月13日
【2023/11/13開催】ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~量子コンピュータの実現に向けて~
2023年3月3日
NPFユーザーミーティング(2023/03/14開催)
お知らせの一覧を見る
施設運転情報
施設工事
2024年7月24日
新設自動現像装置関連の排気ダクトと電源工事(EBリソ現像室)
New!
利用停止
2024年7月18日
【NPF042】クリーンオーブンの供用廃止
お知らせ
2024年7月12日
2024年 夏休み期間中の消灯時刻変更について【8/5~8/23】
利用停止
2024年6月18日
Pライン停止に伴う装置停止 8/2(金)
利用停止
2024年6月12日
【NPF105】ピュアオゾン供給装置 オゾン分解触媒交換作業 7月下旬再開予定
利用停止
2024年6月3日
【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] 利用停止 ~7月下旬予定
利用再開
2024年5月30日
【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP] 利用再開 7月22日~
利用停止
2024年5月16日
【NPF001】電子ビーム描画装置(CRESTEC)の運用終了と移設について
利用再開
2024年6月21日
【NPF104】原子層堆積装置_4[FlexAL] 利用再開 7月19日
一覧を見る