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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
- 2025年9月17日
- 【ARIM東京大学セミナー2025/10/9開催】ドライエッチングセミナー
- 2025年9月3日
- NIMS-ARIMセミナー2025/10/20開催
- 2025年7月15日
- 【NPF115】大面積電子ビーム描画装置[BODEN50] お試し料金のお知らせ
- 2025年6月3日
- データ登録約款・データ登録要項の一部改正
- 2025年5月30日
- 【ARIMセミナー2025/8/6開催】施設共用におけるALD成膜のユーザー事例紹介
施設運転情報
- 利用停止2025年10月7日
- 【NPF082】化合物エッチング装置 ICP電源アラームNew!
- 利用再開2025年9月30日
- 利用再開：【NPF051】デバイスパラメータ評価装置
- メンテナンス2025年10月8日
- 【NPF085】2ndインピーダンスチューブつまり解消のため液体ヘリウムを枯らします。New!
