NPF:ナノプロセシング施設
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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
2024年5月9日
【2024/7/10開催】2024年度第1回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~最先端デバイス技術~
2024年2月19日
ナノプロセシング施設 令和6年度課題登録開始について
2023年12月25日
【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術~ 進化する電子ビーム露光装置 ~
2023年10月13日
【2023/11/13開催】ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~量子コンピュータの実現に向けて~
2023年3月3日
NPFユーザーミーティング(2023/03/14開催)
お知らせの一覧を見る
施設運転情報
利用停止
2024年10月10日
2F実験室大型除振台設置に伴う振動発生と一部機器利用停止(11/5〜8)
New!
施設工事
2024年10月1日
スクラバー等定期自主検査に伴い 10/22(火)終日装置利用停止
メンテナンス
2024年9月2日
2024年電気設備定期点検に伴う計画停電に伴う施設利用停止
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