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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)

お知らせ

2024年5月9日: 【2024/7/10開催】2024年度第1回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー～最先端デバイス技術～

2024年2月19日: ナノプロセシング施設　令和６年度課題登録開始について

2023年12月25日: 【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術～進化する電子ビーム露光装置～

2023年10月13日: 【2023/11/13開催】ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー～量子コンピュータの実現に向けて～

2023年3月3日: NPFユーザーミーティング（2023/03/14開催）

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施設運転情報

利用再開2024年9月1日: 【NPF096】単波長エリプソメータ＿利用再開

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