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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)

お知らせ

2026年5月26日: 【ARIMセミナー2026/7/29開催】ALDにおけるプリカーサーの吸着・解離プロセスNew!

2026年4月1日: ナノプロセシング施設　令和8年度装置利用開始について

2026年4月1日: NPFレポート11号「【NPF119】マスクレス露光装置(MLA-150)の性能について」を公開

2026年3月9日: 【応用物理学会2026春季】ALD実験知見検索システムのデモンストレーションのご案内（3/16-3/18）

2026年2月16日: ナノプロセシング施設　令和8年度課題登録開始について

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施設運転情報

メンテナンス2026年5月13日: 純水装置メンテナンスのため断水【6/1 9:00～14:00】

利用停止2026年5月11日: Pライン停止に伴う装置停止 6/18(木)

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