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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)

お知らせ

2026年4月1日: ナノプロセシング施設　令和8年度装置利用開始について

2026年4月1日: NPFレポート11号「【NPF119】マスクレス露光装置(MLA-150)の性能について」を公開

2026年3月9日: 【応用物理学会2026春季】ALD実験知見検索システムのデモンストレーションのご案内（3/16-3/18）

2026年2月16日: ナノプロセシング施設　令和8年度課題登録開始について

2026年1月20日: 【ARIMセミナー2月25日開催】電子線・光リソグラフィ技術

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施設運転情報

お知らせ2026年3月30日: ゴールデンウィーク期間のNPF休業予定について

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