NPF:ナノプロセシング施設
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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
2024年11月8日
【ARIMセミナー11月21日開催】電子ビーム描画装置CAD変換技術
2024年11月8日
【産総研内部利用者】第4四半期の利用料予算振替の期限について
2024年5月9日
【2024/7/10開催】2024年度第1回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー~最先端デバイス技術~
2024年2月19日
ナノプロセシング施設 令和6年度課題登録開始について
2023年12月25日
【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術~ 進化する電子ビーム露光装置 ~
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施設運転情報
利用停止
2024年12月2日
2025年3月 酸アルカリドラフトチャンバー_右・左、メッキ装置 一時利用停止
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2024年11月8日
2024年度 年末年始の施設運転について
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