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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
- 2024年2月19日
- ナノプロセシング施設 令和６年度課題登録開始について
- 2023年12月25日
- 【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術～ 進化する電子ビーム露光装置 ～
- 2023年3月3日
- NPFユーザーミーティング（2023/03/14開催）
施設運転情報
- 利用停止2024年10月10日
- 2F実験室大型除振台設置に伴う振動発生と一部機器利用停止(11/5〜8)New!
- 施設工事2024年10月1日
- スクラバー等定期自主検査に伴い 10/22(火)終日装置利用停止
- メンテナンス2024年9月2日
- 2024年電気設備定期点検に伴う計画停電に伴う施設利用停止
