NPF:ナノプロセシング施設
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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
2025年5月15日
ARIMオンライン講座「二日間で学ぶPythonデータ構造化」
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2025年5月8日
データ登録約款・データ登録要項の一部改正
2025年4月16日
ARIM Japan ウェブサイト URL変更のお知らせ
2025年2月14日
ナノプロセシング施設 令和7年度課題登録開始について(2/25外部利用について変更)
2025年1月30日
「装置の紹介[NPF] 一覧」表示の変更
お知らせの一覧を見る
施設運転情報
利用再開
2025年5月13日
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)利用再開
New!
利用停止
2025年4月24日
【装置停止情報】有機ドラフト(リソ用)他の一時利用停止(局所排気装置対象法定点検)(5/8 停止装置追加)
お知らせ
2025年4月24日
新規装置の紹介
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