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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
- 2026年5月26日
- 【ARIMセミナー2026/7/29開催】ALDにおけるプリカーサーの吸着・解離プロセス
- 2026年4月1日
- ナノプロセシング施設 令和8年度装置利用開始について
- 2026年2月16日
- ナノプロセシング施設 令和8年度課題登録開始について
施設運転情報
- お知らせ2026年7月10日
- 2026年度 夏期の消灯時刻変更について【8/3～8/21】New!
- 利用再開2026年7月9日
- 利用再開：【NPF051】デバイスパラメータ評価装置New!
- 利用停止2026年6月30日
- 【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] 利用停止 期間未定
- お知らせ2026年6月29日
- 夏季のNPF休業予定について
- お知らせ2026年6月5日
- 【NPF003】イオンコーター(FIB付帯)(2F)の仕様変更
