NPF:ナノプロセシング施設
本文へ移動する
メニュー
国立研究開発法人 産業技術総合研究所
ナノプロセシング施設
装置の紹介
ご利用手順
各種資料
アクセス方法
お問い合わせ
メニュー
閉じる
ナノプロセシング施設
装置の紹介
ご利用手順
各種資料
アクセス方法
お問い合わせ
サブメニュー
利用料金
質問集
プライバシーポリシー
リンク集
産総研ARIMポータルへ
NPFホーム
ポータルサイトに戻る
ユーザーログイン
パスワードをお忘れの方はこちら
既にログインしている方はこちら
ログアウトする方はこちら
利用者登録
メニュー
利用料金
質問集
プライバシーポリシー
リンク集
産総研ARIMポータルへ
産総研エレクトロニクス・製造領域共用施設ポータルへ
産業技術総合研究所エレクトロニクス・製造領域へ
マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
2026年2月16日
ナノプロセシング施設 令和8年度課題登録開始について
2026年1月20日
【ARIMセミナー2月25日開催】電子線・光リソグラフィ技術
2025年12月18日
【産総研内部利用者】2025年度第4四半期の利用料予算振替の期限について
2025年10月27日
ARIM構造化データ共用サービス、本格始動
2025年7月15日
【NPF115】大面積電子ビーム描画装置[BODEN50] お試し料金のお知らせ
お知らせの一覧を見る
施設運転情報
メンテナンス
2026年2月23日
純水装置更新作業のため断水
New!
メンテナンス
2026年1月16日
純水装置タンク洗浄のため断水【3/11 9:00~3日間】
お知らせ
2026年1月6日
【NPF038】二次イオン質量分析装置(D-SIMS)帯電中和機能故障による試料受け入れ制限に関して(年度内目処の修理完了まで)。
一覧を見る