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マテリアル先端リサーチインフラ(ARIM)
お知らせ
- 2024年11月8日
- 【ARIMセミナー11月21日開催】電子ビーム描画装置CAD変換技術
- 2024年11月8日
- 【産総研内部利用者】第4四半期の利用料予算振替の期限について
- 2024年2月19日
- ナノプロセシング施設 令和６年度課題登録開始について
- 2023年12月25日
- 【NPFセミナー 2024/2/28開催】電子ビーム露光技術～ 進化する電子ビーム露光装置 ～
施設運転情報
- 利用停止2024年12月2日
- 2025年3月 酸アルカリドラフトチャンバー_右・左、メッキ装置 一時利用停止New!
- お知らせ2024年11月8日
- 2024年度 年末年始の施設運転について
