装置の紹介[NPF]
【NPF033】アルゴンミリング装置
| 名称 | 【NPF033】アルゴンミリング装置 |
|---|---|
| メーカー | 伯東 |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | イオンガンで発生させたArイオンビームを加速し、試料に照射することでエッチング（ミリング）を行います。反応性イオンエッチング(RIE)装置などに比べ、雰囲気が一桁低い圧力(10^-2 Pa台)でエッチングが行えます。サンプルサイズは3インチまでとなります。 ・型式:3-IBE ・試料サイズ:4インチ ・ビーム直径:3 cmφ ・ビーム加速電圧:500, 300 V ・イオン電流密度:1 mA/cm2(入射角度0°の時) ・試料室の真空度: ～3×10^-2 Pa ・導入ガス:Ar, N2(パージガス) |
