装置の紹介[NPF]
【NPF070】X線回折装置（XRD）
| 名称 | 【NPF070】X線回折装置（XRD） |
|---|---|
| メーカー | リガク |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 試料形状やそれぞれの測定目的に応じて適切な光学系を容易に切り替えることが可能な高精度のX線回折装置です。集中法、平行ビーム法切替入射光学系“クロスビームオプティクス”を搭載し、集中法、平行ビーム法や薄膜測定光学系を僅かな手差しスリットの交換と測定プログラムの切り替えだけで簡単に設定することができます。更に、3軸を有する薄膜試料台およびインプレーン測定機構を活用して、擬似極点、逆格子マップあるいは薄膜面内回折測定なども行えます。通常、光学系は薄膜測定用に設定されています。 ・型式:Ultima_III ・試料サイズ: 100mmφ×9mm ・試料ステージ:水平型(インプレーン測定機構付) ・傾斜多層膜放物面モノクロメータ付 ・チャンネルカットモノクロメータ ・受光モノクロメータ ・6試料交換装置 ・小角散乱光学系等の利用可 ・試料形態:薄膜、粉 ・ソフトウエア：定性分析、定量分析、反射率、極点、逆格子マップ、結晶子サイズ、結晶粒サイズ、結晶化度等 |
