装置の紹介[NPF]
【NPF072】微小部蛍光X線分析装置
| 名称 | 【NPF072】微小部蛍光X線分析装置 |
|---|---|
| メーカー | 株式会社日立ハイテクサイエンス |
| 導入年月日 | 2010-03-26 |
| 仕様 | エネルギー分散型の蛍光エックス線分析による元素分析装置です。コリメータによる微小領域の元素分析とマッピングが可能です。 ・型式:SEA_5210A ・試料サイズ: 80mm▢, 35mmt（上面照射方式） ・分析元素:Na～U ・試料形態:固形、薄膜（液及び粉は要許可） ・コリメータ:0.1, 1, 2.5mmφ ・雰囲気:大気、真空 ・ソフトウエア:定性分析、定量分析（FP法、検量線法）、薄膜分析（膜厚、組成）、元素マッピング |
