装置の紹介[NPF]
【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
| 名称 | 【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM] |
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| メーカー | 日立ハイテク |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | この装置は細く絞った電子線を2次元的に走査し、試料から発生する2次電子信号により表面の凹凸や材質の違いなどを像として表示します。試料を傾けながら像を観察することにより、3次元的な形状を把握することもできます。 ・型式:S-4800 ・試料サイズ:15～150 mmφ ・電子銃:冷陰極電界放出型電子銃 ・加速電圧:0.5～30 kV ・分解能:1.0 nm(加速電圧15 kV, WD = 4 mm) ・試料ステージ制御:5軸モーター制御 ・可動範囲:X,Y:0～110 mm、Z:1.5～40 mm、R:360°、T:-5～70° ・検出器:2次電子検出器、エネルギー分散型X線検出器（EDX） |
