装置の紹介[NPF]
【NPF048】ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]
| 名称 | 【NPF048】ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500] |
|---|---|
| メーカー | 島津製作所 |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 光学顕微鏡、レーザ顕微鏡（LSM: Laser Scanning Microscope）、走査型プローブ顕微鏡（SPM: Scanning Probe Microscope）の3機能が1台の顕微鏡に搭載された複合型顕微鏡です。数10倍～1000000倍以上の超ワイドレンジでの観察を行うことが可能です。搭載の機能を組み合わせることで、SPM単体では困難であった視野探しを試料を載せかえずに正確かつスピーディに行うことができます。 ・型式:SFT_3500 ・試料サイズ:6インチφ、最大高さ:54.5mm ・ステージストローク:100×100mm LSM部 ・観察視野:2,560μm～21μm ・対物レンズ:5×, 20×, 100× （光学ズーム 1×～6×） SPM部 ・最大走査範囲:30μm（X,Y）、4μm（Z） ・垂直分解能：0.1nm程度 ・検出方式:光てこ方式 ・測定モード:ダイナミックモード（タッピングモード）、コンタクトモード、位相モード、表面電位モード[KFM]、電流モード |
