装置の紹介[NPF]

【NPF021】プラズマアッシャー

名称	【NPF021】プラズマアッシャー
メーカー	ヤマト科学
導入年月日
仕様	この装置は、石英チャンバー内で酸素プラズマを発生させることにより、フォトレジスト等の有機物をCO2とH2Oに分解・酸化させて除去するものです。・型式:PR500 ・高周波電源:500W ・反応槽:石英チャンバー　215 mmφ×305 mmt ・放電時間設定:0.1秒～999時間・使用ガス:O2、パージ用N2ガス