装置の紹介[NPF]
【NPF003】イオンコーター（FIB付帯）（2F）
| 名称 | 【NPF003】イオンコーター（FIB付帯）（2F） |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 集束イオンビーム加工観察において、熱伝導性の悪い試料の昇華や融解による形状変形、及び熱改質の防止、試料表面へのイオン注入による汚染、イオンビーム照射による表面改質の防止、電気伝導性の悪い試料の加工や観察中の帯電障害(チャージアップ)を防止するため、PtコーティングやCコーティングを行う装置です。2F実験室に設置。 ・型式:E-1030 ・試料サイズ::55 mmφ, 20 mmt ・放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形) ・電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み) ・電圧: 0.4 kV(固定) ・電流:電流DC 0～35 mA(リミット回路付き) ・コーティングレート:6.5 nm/m (Pt) |
