装置の紹介[NPF]
【NPF063】分光エリプソメータ
| 名称 | 【NPF063】分光エリプソメータ |
|---|---|
| メーカー | ホリバ・ジョバンイボン |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | この分光エリプソメーター装置は、190～826nm（1.5～6.5eV）の波長範囲における入射光と反射光の偏光状態の変化を測定し、薄膜の膜厚や屈折率、消衰係数を求めることが出来ます。5μｍまでの比較的厚い膜厚（但し金属膜は除く）や薄膜の多層構造の測定も可能です。堀場ジョバンイボン社から提供される多数の分散式を保有しおり、様々な物質の解析作業が可能です。サンプルステージの径は150mm、上下調整可能幅は20mmとなっており、幅広いサンプル形状に対応できるようになっております。また、ユーザーフレンドリーな操作マニュアルや解析事例集を完備しており、エリプソメーターを初めて使う方でも比較的簡単に本装置を使用することが出来ます。 ・型式:UVISEL-M200-FUV-FGMS ・試料サイズ:150mmφ ・ステージ上下調整幅:20mm ・波長範囲:190～826nm（1.5～6.5eV） |
