装置の紹介[NPF]
【NPF121】電界放出形走査電子顕微鏡（JSM7400F）
| 名称 | 【NPF121】電界放出形走査電子顕微鏡（JSM7400F） |
|---|---|
| メーカー | JEOL |
| 導入年月日 | 2025-05-01 |
| 仕様 | この装置は細く絞った電子線を平面上に走査し、試料から発生する二次電子信号に より表面の凸凹や材質の違いなどを像として表示します。試料を傾けながら像を観察す ることにより、立体的な形状を把握することもできます。 ・型式：JSM-7400F ・試料サイズ：最大32mmΦ✕10mmH ・電子銃：冷陰極電界放出型電子銃(コニカル形) ・加速電圧：0.1～30kV ・分解能：1.0nm(加速電圧15kV) ・試料ステージ制御：3軸モーター制御(X,Y,R)、2軸手動制御(Z,T) ・可動範囲：X;0～70mm、Y;0～50mm、Z;1.5～25mm、R;360°、 T;-5～70°(標準ホルダー) ・検出器：二次電子検出器、反射電子検出器、エネルギー分散型X線検出器(EDX) |
