装置の紹介[NPF]

【NPF118】多機能型光電子分光分析装置(XPS)

名称	【NPF118】多機能型光電子分光分析装置(XPS)
メーカー	ULVAC PHI
導入年月日	2025-04-01
仕様	搭載分析機能：XPS(Al kαモノクロ),HAXPES(Cr kαモノクロ), UPS, 走査型オージェ電子分光(AES)分析, 低エネルギー逆光電子分光, 反射電子エネルギー損失分光他最大試料サイズ：80 mm×80 mm, 高さ12 mm. 40 mm × 40 mmホルダの場合最大高さ 20 mm 試料加熱冷却範囲：-100 ～ 500℃ UPS:He I 線もしくは He II 線, 最高エネルギー分解能≦ 100 meV, 試料バイアス 0V or -10V(固定) LEIPS:励起エネルギー約 0 ～ 7 eV, バンドパスエネルギー, 4.77 eV (260 nm 中心波長) AES用電子銃:加速電圧 0.2 ～ 10 kV, 電子ビーム径≦ 100 nm Ar モノマー/Ar-GCIB デュアルソースイオン銃: Arモノマー 0.2 ～5 kV, 中和モード 1 ～ 10 eV, GCIB 1 ～ 20 kV ※:GCIB: Gas Cluster Ion Beam 4 端子電圧印加機構:端子数4, 印加電圧≦ 250V, 電流≦ 1A トランスファーベッセル:60mm トランスファーベッセル