装置の紹介[NPF]
【NPF117】多機能型薄膜Ｘ線回折装置(XRD)
| 名称 | 【NPF117】多機能型薄膜Ｘ線回折装置(XRD) |
|---|---|
| メーカー | PANalytical |
| 導入年月日 | 2025-04-01 |
| 仕様 | 試料サイズ：最大100mmφ 試料ステージ：垂直型(In-Plane時水平) 試料形態：薄膜(φ12mm以内)、バルク(厚み10mm以内) 入射側光学系：Hybrid Monochromator(2×Ge220, Cu), BRAGG-BRENTANOHD, X線レンズ 受講側光学系：コリメータ(0.09, 0.27), PIXcel 測定：２θ/θ、2θ/ω、in-plane2θχ/φ、ロッキングカーブ測定、極点図測定、反射率測定、逆格子マッピング測定、高温測定(～1100℃) |
関連画像
AMASSによるTiN-XRR線のFitting結果
断面TEM image
測定温度プロフィール(黄線:測定点)
カーボンドーム試料ホルダー
