装置の紹介[NPF]
【NPF114】平行平板型プラズマアッシャー
| 名称 | 【NPF114】平行平板型プラズマアッシャー |
|---|---|
| メーカー | ヤマト科学 |
| 導入年月日 | 2024-03-26 |
| 仕様 | この装置は、平行平板型のプラズマ装置です。酸素プラズマを発生させることにより、フォトレジスト等の有機物をCO2とH2Oに分解・酸化させて除去するものです。 レジストの種類や、設定条件にもよりますが、数10ｎｍ／分程度、除去できます。 ・型式: YAMATO MPC３００ ・高周波電源: １００～３００W ・反応槽: 平置き、最大6インチ ・放電時間設定: 最大９０分 ・使用ガス: O2、パージ用N2ガス |
