装置の紹介[NPF]

【NPF113】スピンコーター（EB）

名称	【NPF113】スピンコーター（EB）
メーカー	株式会社アクティブ
導入年月日	2021-12-10
仕様	EBリソグラフィー用のレジスト塗布プロセス。【NPF014】有機ドラフトチャンバー_1で利用いただけます。・型式:ACT-300AⅡ ・試料サイズ:５mm～6インチφ　・試料固定:真空吸着固定式・回転数:6000rpm ・回転精度:±1rpm ・回転制御:プログラムメモリー機能