NPF:ナノプロセシング施設
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装置の紹介[NPF]
【NPF112】有機ドラフトチャンバー_左(EB)
名称
【NPF112】有機ドラフトチャンバー_左(EB)
メーカー
オリエンタル技研工業(株)
導入年月日
2021-12-10
仕様
有機洗浄プロセス
付帯設備:純水、窒素ガスブロー、局所排気装置
使用薬品 IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤