装置の紹介[NPF]

【NPF108】イオンコーター（エリオニクス）

名称	【NPF108】イオンコーター（エリオニクス）
メーカー
導入年月日	2021-12-10
仕様	チャージアップ抑制のためのSEM用コーター。Pt 及びW のコーティングが可能です。CR1（1F)に設置。・型式:ESC-10 ・試料サイズ:25㎜φ×15㎜t ・放電方式:ホロアノードマグネトロン型・電圧:単層AC100V ・電流:9A ・コーティングレート: 10nm/m (Pt)、3.5nm/m (W)