装置の紹介[NPF]
【NPF105】ピュアオゾン供給装置
| 名称 | 【NPF105】ピュアオゾン供給装置 |
|---|---|
| メーカー | 明電舎 |
| 導入年月日 | 2021-12-10 |
| 仕様 | 本装置は酸素ガスよりオゾナイザを用いて発生させたオゾンガスを極低温冷凍機を使用して冷却したオゾンチャンバ内で液化・精製・蓄積して高濃度の液体オゾンを製造し、再気化させることにより高純度（90%以上）のオゾンガスを供給します。【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]、【NPF102】原子層堆積装置_3〔FlexAL〕のALD装置に接続され、100℃前後の低温でのサーマルALDにご利用いただけます。 ・型式:MPOG-RDS01-C ・発生オゾンガス濃度:90%以上 |
