装置の紹介[NPF]
【NPF091】自動塗布現像装置
| 名称 | 【NPF091】自動塗布現像装置 |
|---|---|
| メーカー | 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ |
| 導入年月日 | 2019-10-01 |
| 仕様 | フォトレジスト専用の自動レジスト塗布・現像装置です。 ・型式：RCDA 4100 ・試料サイズ：3インチφ , 4インチφ オートローダー仕様 ・塗布レシピ数：28 ・現像レシピ数：46 ・レジスト：i線用2系統（住友化学 PFI-38A7 , 住友化学 PFI-89B4） ・現像液：TMAH 2.38%（多摩化学 TMAH 2.38%） |
