装置の紹介[NPF]
【NPF086】マニュアルウェハープローバー（2F）
| 名称 | 【NPF086】マニュアルウェハープローバー（2F） |
|---|---|
| メーカー | MJC / KEYTHLEY / HP |
| 導入年月日 | 2017-07-07 |
| 仕様 | 200 mmφチャックテーブルを持つマニュアルプローバ(MJC_708fT-011)とKEITHLEY-4200SCS+HP4284Aを組み合わせたマニュアルプローバシステムです。2F一般実験室に設置され、主に多数のデバイスの連続測定や長時間を要する測定、微小電流測定を対象にしています。HP4284A_LCRメータを接続してあり、Probe 1, 2をスイッチユニットで切り替えて接続することができます。HP4284A_LCRメータも4200-SCSに搭載されたKITEからGUIインターフェイスで制御することができます。 ・型式:MJC_708fT-011（マニュアルプローバ） ・試料サイズ:75～200 mmφ、 10～30 mm□ ・300 mmウェーハ:中央付近のみ測定可能 ・小片試料:0.5インチΦ（専用チャック） ・ステージトラベル:X, Y ±110 mm (取り出し用ストローク含まず) ・サブステージトラベル:X, Y ±5 mm (マイクロメータ駆動) ・Zトラベル:0, 0.3, 3.5 mm固定+3 mm ・プローブ接続:リモートセンシング対応(Force, Sence独立配線) ・プローブ数:3系統+チャックテーブル1系統 ・プローブ先端径:R=12.5m KEITHLEY 4200-SCS ・SMU搭載数:4200-SMU(4200-PA付き)×4 ・電流分解能:0.1fA～100pA ・最大電流:±100mA ・電圧レンジ:200mV～210V(4レンジ) HP4284A LCRメータ |
