装置の紹介[NPF]

【NPF013】有機ドラフトチャンバー_左（フォト）

名称	【NPF013】有機ドラフトチャンバー_左（フォト）
メーカー
導入年月日
仕様	フォトリソグラフィー用のレジスト塗布・現像プロセスにご利用いただけます。・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気、【NPF008】スピンコーター（フォト）・使用薬品:リソグラフィーに用いるレジスト、レジスト現像液、リンス液、剥離液、及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤