装置の紹介[NPF]

【NPF012】有機ドラフトチャンバー_右（フォト）

名称	【NPF012】有機ドラフトチャンバー_右（フォト）
メーカー	株式会社ダルトン
導入年月日
仕様	フォトリソグラフィー用のレジスト現像、剥離等の有機洗浄プロセスにご利用いただけます。・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気、【NPF017】スマートウォーターバス・使用薬品:リソグラフィーに用いるレジスト現像液、リンス液、剥離液、及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤