装置の紹介[NPF]
【NPF074】X線光電子分光分析装置（XPS）
| 名称 | 【NPF074】X線光電子分光分析装置（XPS） |
|---|---|
| メーカー | KRATOS ANALYTICAL / ㈱島津製作所 |
| 導入年月日 | 2011-03-31 |
| 仕様 | エックス線光電子分光装置。試料の組成や元素の結合状態などの分析が可能です。 ・形式:AXIS-Nova ・試料サイズ: 100 mmφ、, 高さ10 mm （専用ホルダ使用で約20 mm迄可） ・X線源:Rowland 円直径 500 mm モノクロメータ付Al Kα （1486.6 eV）/Ag Lα (2984.2 eV) ・光電子分光器:軌道半径165 mm 静電二重半球型アナライザー/球面鏡アナライザー複合型 ・検出器:ディレイラインディテクター（DLD）システム ・スペクトル分析:100チャネル同時計測 ・イメージング:256×256画素（最大分解能3μm） ・最小スペクトル分析面積:15μmΦ ・エネルギ分解能:0.48 eV以下（Ag 3d5/2光電子ピーク半値幅） ・帯電中和 均一低エネルギー電子照射 ・光電子取り出し角度:垂直（標準）、0～90°（傾斜観察ホルダ使用） * 傾斜観察時は試料サイズの制限があります。 ・エッチングイオン銃:Ar＋、多原子（コロネンC24H12 ）イオン ・搭載オプション:He紫外線光源（UPS用 21.2, 40.2 eV） |
