NPF:ナノプロセシング施設
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装置の紹介[NPF]
【NPF015】酸アルカリドラフトチャンバー_右
名称
【NPF015】酸アルカリドラフトチャンバー_右
メーカー
日京テクノス㈱
導入年月日
仕様
酸・アルカリ薬液による洗浄プロセスにご利用いただけます。
・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、スクラバー付き局所排気装置、【NPF016】スターラーウォーターバス
・使用薬品:硫酸、塩酸、硝酸、リン酸、フッ酸、過酸化水素、KOH等の酸 /アルカリ薬液