装置の紹介[NPF]
【NPF014】有機ドラフトチャンバー_右（EB)
| 名称 | 【NPF014】有機ドラフトチャンバー_右（EB) |
|---|---|
| メーカー | オリエンタル技研工業（株） |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | EBリソグラフィ用のレジスト塗布、現像、剥離等の有機洗浄プロセスにご利用いただけます。。 ・付帯設備:純水、窒素ガスブロー、イエローライト、局所排気、【NPF113】スピンコーター（ＥＢ） ・使用薬品:リソグラフィーに用いるレジスト、レジスト現像液、リンス液、剥離液、及び、IPA、エタノール、アセトンなどの有機溶剤 |
