装置の紹介[NPF]
【NPF039】オゾンクリーナー（SIMS付帯）
| 名称 | 【NPF039】オゾンクリーナー（SIMS付帯） |
|---|---|
| メーカー | 竹田理化工業株式会社 |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 短波長紫外線で固体の表面改質・乾式洗浄を行うクリーナーです。二種類の短波長紫外線(185、254nm)により空気中の酸素をオゾン化し有機物を除去します。サンプル表面へのダメージは極めて少なく、良好な表面が得られます。光源は手動による可変タイプのため、表面分析の前処理をin-situ(測定前室)で行うことが可能です。 ・電源:AC100V 50/60Hz ・ランプ:110W低圧水銀ランプ ・ランプ波長:185nm、254nm ・照射距離:ランプ下面より0〜80mm(手動可変タイプ) ・照射エリア:150×150mm ・オゾン排気構造:別置きブロワーによる強制排気方式(オゾン吸着材封入) |
