装置の紹介[NPF]
【NPF035】イオンコーター（SEM付帯）（2F）
| 名称 | 【NPF035】イオンコーター（SEM付帯）（2F） |
|---|---|
| メーカー | 日立ハイテクノロジーズ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 走査電子顕微鏡観察において、導電性の悪い試料を観察する際の帯電障害(チャージアップ)を防止するために、Ptコーティングをするための装置です。2F実験室に設置。 ・試料サイズ:60mmφ、20mm ・放電方式:ダイオード放電マグネトロン形(電場・磁場直交形) ・電極形状:対向平行円板(マグネット埋込み) ・電圧:DC 0.4 kV ・電流:DC 15 mA, 35 mA ・コーティングレート: Pt 7nm/m, 15nm/m |
