【NPF104】原子層堆積装置_4[FlexAL] 利用停止　当面の間

掲載日：2024年4月15日

原子層堆積装置_1のターボ分子ポンプが故障したため、原子層堆積装置_4 のポンプを移します。
当面の間、原子層堆積装置_4が利用停止となります。ご利用の皆様には大変ご迷惑をおかけいたします。現在利用しているユーザには順次対応をご連絡いたします。

復旧のめどが分かってきましたらご連絡いたします。

よろしくお願いいたします。