【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)　条件付きで利用可能とします

掲載日：2026年10月8日

圧縮空気漏れで利用停止していますが、直るまで時間がかかりそうなため、条件付きで利用を可能とします。
応急処置のため、再度漏れる可能性があり、途中で停止するリスクがあります。
装置担当(中野)がいる時のみ利用可能です。
希望日時を装置担当(中野)まで連絡していただけますようお願いします。
トレーニングも可能です。
よろしくお願いいたします。