純水装置メンテナンスのため断水【6/1 9:00～14:00】

掲載日：2026年5月13日

純水装置定期メンテナンスのため、下記の時間帯に超純水供給が止まります。

日時: 2023年5月16日(火) 9:00～14:00
場所: CR2、CR3、CR4、EBリソ現像室

利用停止になる装置：
・【NPF054】ダイシングソー
・【NPF014】【NPF112】有機ドラフトチャンバー（EB）右、左
・【NPF012】【NPF013】ドラフトチャンバー（フォト）右、左
・【NPF116】EB用自動現像装置（カナメックス）
・【NPF091】自動塗布現像装置
・【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
・CR３室のドラフト

＊CR１(酸ドラフト)は、純水の供給は止まりませんのでご利用可能です。
　メンテナンス作業時のみ周囲にご注意お願いします。

担当：木塚