NPF:ナノプロセシング施設
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施設運転情報[NPF]
一時利用停止:【NPF051】デバイスパラメータ評価装置
掲載日:2026年1月9日
マニュピレータの故障と測定器もしくはPCの不具合のため一時利用停止とします。
修理が完了しましたら利用を再開いたします。