NPF:ナノプロセシング施設
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施設運転情報[NPF]
一時利用停止:【NPF051】デバイスパラメータ評価装置
掲載日:2025年8月8日
【NPF051】デバイスパラメータ評価装置のマニュピレータが複数故障していたため、修理が完了するまでの間、一時利用停止といたします。