利用料金
2025年度料金表
ナノプロセシング施設（NPF） [PDF形式／107.49KB]
未踏デバイス試作共用ライン（COLOMODE） [PDF形式／363.89KB]
AIチップ設計拠点（AIDC） [PDF形式／2.34MB]
クリエイティブミニマルファブ（CMF） [PDF形式／312.3KB]
MEMS研究開発拠点（MEMS） [PDF形式／125.42KB]
スーパークリーンルーム産学官連携研究棟（SCR） [PDF形式／104.16KB]
2025年度料金表
ナノプロセシング施設（NPF） [PDF形式／107.49KB]
未踏デバイス試作共用ライン（COLOMODE） [PDF形式／363.89KB]
AIチップ設計拠点（AIDC） [PDF形式／2.34MB]
クリエイティブミニマルファブ（CMF） [PDF形式／312.3KB]
MEMS研究開発拠点（MEMS） [PDF形式／125.42KB]
スーパークリーンルーム産学官連携研究棟（SCR） [PDF形式／104.16KB]