産業技術総合研究所、東京科学大学、物質・材料研究機構、北海道大学は、2021年度からスタートした文部科学省委託事業である「マテリアル先端リサーチインフラ（ARIM)」の一環として、『マスクレスリソグラフィ技術』と題して技術セミナーを2025年2月28日（金）にハイブリッド開催いたします。
マスクレスリソグラフィ技術の解説に加え、各機関の共用施設のマスクレスリソグラフィに関わる事例を紹介いたします。
産学官いずれのご所属の方々の奮ってのご参加をお待ちしております
2024年度 第3回ARIM量子・電子マテリアル領域セミナー
マスクレスリソグラフィ技術
概要
講演
- 【日時】
- 2025年2月28日（金）12:55～16:40
- 【オンサイト会場】
- 産業技術総合研究所つくば中央2-12棟第6会議室
http://www.aist.go.jp/aist_j/guidemap/tsukuba/center/tsukuba_map_c.html
- 【オンライン】
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Microsoft Teamsによるウェビナー配信
（参加申込者へ別途URLをお送りいたします。）
- 【定員】
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オンサイト：80 名、オンライン：200名
(先着順、参加登録をお願いします)
- 【参加費】
- 無料
- 【連絡先メールアドレス】
- tia-npf-school3@aist.go.jp
主催・共催
- 【共催】
- 産業技術総合研究所ナノプロセシング施設（NPF）
- 【共催】
- 物質・材料研究機構 微細加工ユニット
- 【共催】
- 東京科学大学 科学技術創成研究院未来産業技術研究所
- 【共催】
- 北海道大学 北海道大学電子科学研究所
お問い合わせ
e-mail：tia-npf-school3@aist.go.jp