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施設運転情報[NPF]

【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL] 利用停止 ~7月下旬予定

掲載日:2024年6月3日


施設トラブルおよび定期メンテナンス作業等のため【NPF102】原子層堆積装置_3[FlexAL]の利用を停止します。利用再開は7月下旬ごろを予定しております。

Al2O3の成膜に限り、成膜可能な時期があります。
成膜を希望する場合は、6月20日までに装置担当者までご連絡ください。

詳細は、NPF事務局へお問い合わせください。

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