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施設運転情報[NPF]

令和4年度 電気設備定期点検に伴う雑用水・上水停止【12/2~】

掲載日:2022年11月15日


令和4年度 電気設備定期点検に伴う雑用水・上水停止【12/2~】

電気設備定期点検に伴う雑用水・上水停止のため、装置停止もしくは夜間測定ができなくなります。
対象となる装置は下記の通りです。

【NPF023】電子ビーム真空蒸着装置
【NPF071】薄膜エックス線回折装置
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置(SiN)
【NPF082】化合物半導体エッチング装置(ICP-RIE)
【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
【NPF105】ピュアオゾン供給装置

また、停止、立ち上げに時間を要する機器に関しては、別途担当スタッフにて予約を取らせていだきます。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解賜りますよう、お願い申し上げます。

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