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施設運転情報[NPF]

純水装置メンテナンスのため断水【11/30 9:00~】

掲載日:2022年11月10日


純水装置定期メンテナンスのため、下記の時間帯に一部の超純水供給が止まります。

日時: 2022年11月30日(水) 9:00~13:00
場所: CR2、CR3、CR4、EBリソ現像室

影響を受ける装置:
・【NPF014】【NPF112】有機ドラフトチャンバー
・【NPF012】【NPF013】ドラフトチャンバー(右)(左)
・【NPF091】自動塗布現像装置
・【NPF092】高圧ジェットリフトオフ装置
・CR3室のドラフト

利用停止になる装置:
・【NPF054】ダイシングソー

超純水カートリッジ交換を行いますので、CR1を除く全エリアへの超純水供給が止まります。
純水タンク直結供給の装置はタンク保有分の利用はできますが節水にご協力お願いします。


装置担当:中島

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