【NPF082】化合物エッチング装置　ICP電源アラーム

掲載日：2025年10月7日

【NPF082】化合物エッチング装置（ICP-RIE）は、ICP電源アラームが発生したため、しばらくの間
装置利用を停止します。今後状況がわかり次第おしらせします。
ご迷惑おかけしますが、よろしくお願いいたします。