酸アルカリドラフト排気処理装置更新工事【2/17～3/31】

掲載日：2025年2月6日

先にアナウンスをしていましたが、酸ドラフト付帯排気処理装置(スクラバー)の更新を行います。
それに伴い、クリーンルーム内工事のための養生と実作業が以下の予定で行われます。

※※※ 記 ※※※

【NPF015、111】酸アルカリドラフト排気処理装置更新工事(CR1クリーンルーム→屋上設置)

日時: 2025年2月17日(月)～3月31日(月)
場所: CR1クリーンルーム、2-12棟屋上

クリーンルーム内設置のスクラバーを撤去し、新たな屋上設置スクラバーへ接続を行います。
CR1クリーンルーム内では、スクラバー撤去、及びダクト溶接工事等が行われます。

※ おもな工事日程（多少前後する場合があります）
・2/17(月)～:撤去準備のために既存スクラバーの水抜き及び洗浄作業開始（ユーザー利用停止）
・2/25(火)～:屋上ファンを停止、屋上機材の撤去作業開始
・3/ 1(土)～:クリーンルーム内ドラフト周辺を養生しスクラバーの撤去および、
・～3/19(水)：ダクトを溶接する工事、警報盤設置など（クリーンルーム内作業）
・～3/31(月):完了予定、検収完了後新年度から利用再開

※ 周辺装置への影響（3/1～19、クリーンルーム内作業時）
・【NPF004】電界放出形走査電子顕微鏡[S4800_FE-SEM]
・【NPF060】短波長レーザー顕微鏡[VK-9700]
・【NPF048】ナノサーチ顕微鏡SPM_3[SFT-3500]

養生範囲に近い装置には、作業中異常振動やパーティクルの発生が予想されますのでご注意ください。
現像液などの薬品類は、養生期間中は取り出すことができませんので、別の場所に保管している場合があります。
詳細は各薬品担当者にお尋ねください。

以上ご注意のほど実験計画いただけますようよろしくお願いいたします。

NPF事務局