スクラバー等定期自主検査に伴い　10/22(火)終日装置利用停止

掲載日：2024年10月1日

スクラバー等定期自主検査に伴い10/22(火)終日下記の装置が利用停止となります。

【NPF018】反応性イオンエッチング装置（RIE）
【NPF019】多目的エッチング装置（ICP-RIE）
【NPF030】プラズマCVD薄膜堆積装置
【NPF031】原子層堆積装置_1[FlexAL]
【NPF081】プラズマCVD薄膜堆積装置（SiN）
【NPF082】化合物半導体エッチング装置（ICP-RIE）
【NPF099】サムコ原子層堆積装置_2[AD-100LP]
【NPF101】Si深掘エッチング装置[PlasmaPro_100]
【NPF105】ピュアオゾン供給装置

また、停止、立ち上げに時間を要する機器に関しては、別途担当スタッフにて予約を取らせていだきます。
ご迷惑をおかけいたしますが、ご理解賜りますよう、お願い申し上げます。