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各共用施設紹介

各共用施設紹介

先端ナノ計測施設―AIST Nanocharacterization Facilities(ANCF)

既存の計測装置の限界を克服する次世代計測機器の開発、次世代計測手法の開発、及び解析ソフトウェアやデータベースなどの知識体系化を行っています。 さらに、これらの最先端計測機器とノウハウを広く公開するとともに、ISO-IEC標準化による使い勝手の向上によって、ナノテクノロジー等におけるイノベーション創出を推進しております。

超伝導量子回路試作施設―Superconducting Quantum Circuit Fabrication Facility(Qufab)

超伝導量子回路試作施設(Qufab)は、超伝導量子コンピュータ・超伝導量子アニーリングマシン・量子ビット制御用超伝導回路試作のための共用試作施設です。本施設は、超伝導集積回路試作施設に加えて、超伝導量子ビット・量子回路試作施設、超伝導3次元実装施設から構成されています。また、新材料・新構造による超伝導量子ビット・量子回路のための新プロセス開発や企業との産学官連携も行っています。

蓄電池基盤プラットフォーム―Battery Research Platform(BRP)

次世代蓄電池の研究開発を支援するため、最先端装置群をアンダーワンルーフに設置し、共用インフラとして全国の研究者に提供することを目的としているプラットフォームです。

ナノプロセシング施設―Nano-Processing Facility(NPF)

電子線を用いる微細構造描画装置、走査電子顕微鏡・走査型プローブ顕微鏡などの計測装置及びナノデバイスや材料の電子・光機能評価装置を有し、オリジナルな着想をいち早く具現化すべく、日々先端的な材料・デバイスの微細加工から機能検証までを一貫して推進しています。

先端バイオ計測施設、スーパークリーンルーム産学官連携研究棟(SCR)、MEMS研究開発拠点(MEMS)については下記のページをご参照ください。

https://unit.aist.go.jp/tia-co/orp/

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