装置の紹介[NPF]

【NPF011】i線露光装置

名称	【NPF011】i線露光装置
メーカー	ニコンテック
導入年月日
仕様	この装置は、最大開口数(N.A.)0.63の投影レンズを搭載し、解像度350 nm以下に対応したi線縮小投影型露光装置です。照明アパーチャはコンベンショナルタイプの他に、限界解像度と焦点深度を向上させる変形照明(輪帯照明、四重極)も選択できます。投影レンズはN.A.可変システムを採用しており、0.50 ~ 0.63の間で最適なN.A.を選択することが可能です。そのほか特殊ステージを備えており2インチ～8インチウェハーおよび20 mm□、18mm□、15 mm□、10 mm□のクーポンチップの露光が可能です。また、透明基板のセットも可能です。・形式:NSR-2205i12D ・試料サイズ:2インチφ～8インチφ 20 mm, 18mm, 15 mm, 10 mm□クーポン・露光光源:i線(波長365 nm) ・解像度:350 nm以下・最大N.A.:0.63 ・縮小倍率:5分の1倍・露光範囲:22 mm▢(ウェハー上) ・レチクル:6インチ石英ガラス(6025) ・総合アライメント精度:55 nm以下