装置の紹介[NPF]
【NPF038】二次イオン質量分析装置（D-SIMS）
| 名称 | 【NPF038】二次イオン質量分析装置（D-SIMS） |
|---|---|
| メーカー | アルバック・ファイ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 試料に一次イオンを照射し、試料表面からスパッタリング放出される二次イオンを質量分析することによって試料の元素組成情報を得る分析手法です。一次イオンのスパッタリングにより、深さ方向の分析も可能です。固体表面の検出感度が高く、1H～92Uまでの全元素および同位体に対してppm～ppbの範囲で定量が可能です。 ・型式:ADEPT-1010 ・試料サイズ:50mmφ ・一次イオン: O2（加速電圧 0.25-8.0kV）、Cs（加速電圧 0.25-11.0kV） ・ビーム径:75μmφ以下 ・二次イオン質量分析計:四重極型 ・分析モード:質量スペクトル測定、ライン分析、デプスプロファイル、二次イオンイメージ像 |
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