装置の紹介[NPF]
【NPF052】デバイス容量評価装置
| 名称 | 【NPF052】デバイス容量評価装置 |
|---|---|
| メーカー | ケースレー |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | プローバーシステムとC-VメータやLCRメータから構成されており、電圧電流比から静電容量などの電気的特性を調べることができます。 ・型式:Model 82-WIN（ケースレー社製）, 4284A LCRメータ（アジレントテクノロジーズ社製） ・試料サイズ:2インチφ ・Model 82-WIN: Quasistatic C-Vと高周波C-V（100kHz or 1MHz）の同時特性評価 ・4284A LCRメータ:低周波20Hz～高周波1MHzの主にC-V特性評価、及び 周波数変化時の容量であるC-F特性評価 |
