装置の紹介[NPF]
【NPF022】UVオゾンクリーナー
| 名称 | 【NPF022】UVオゾンクリーナー |
|---|---|
| メーカー | サムコ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | UV照射によりオゾンを発生させ試料表面の有機物を除去します。 ・型式:UV-1 ・4インチφ ・UVランプ:110W x 1 (peak wavelength 253.7nm , 184.9nm ) ・試料ステージ温調機能:室温～300℃ |
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| 名称 | 【NPF022】UVオゾンクリーナー |
|---|---|
| メーカー | サムコ |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | UV照射によりオゾンを発生させ試料表面の有機物を除去します。 ・型式:UV-1 ・4インチφ ・UVランプ:110W x 1 (peak wavelength 253.7nm , 184.9nm ) ・試料ステージ温調機能:室温～300℃ |