装置の紹介[NPF]
【NPF045】触針式段差計
| 名称 | 【NPF045】触針式段差計 |
|---|---|
| メーカー | KLAテンコール |
| 導入年月日 | |
| 仕様 | 先端がダイヤモンドのスタイラス（触針）を用いて、被測定物表面を一定の低い針圧でなぞり、段差、表面粗さ、うねり等の測定を行う装置です。主に膜厚測定、表面形状の評価に用います。 ・型式:Alpha-Step IQ ・試料サイズ:4インチ ・測定再現性:1σ≤8Å ・膜厚測定範囲:400 μm ・走査距離:最大10mm ・走査速度:2～200 μm /sec ・サンプリングレート:50, 100, 200, 500, 1000ポイント /sec ・測定レンジ:20, 400 μm ・針圧設定範囲:1～100 mg |
