装置の紹介[NPF]
【NPF109】６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック）
| 名称 | 【NPF109】６インチ電子ビーム真空蒸着装置（アールデック） |
|---|---|
| メーカー | アールデック |
| 導入年月日 | 2021-12-10 |
| 仕様 | 蒸着源を電子ビーム照射による加熱で溶融・蒸発させ、対向する試料へ所望の厚さにて成膜することができる。蒸着源は６ポートで連続した異種材料の積層を行うことができます。試料導入はロードロックを介して自動で搬送され、成膜プロセス完了まですべて自動で制御されます。 ・型式:ADS-E86 ・試料サイズ:8インチφ ・蒸着方式:電子ビーム加熱蒸発 ・蒸発源:6連装（6 kW） ・クルーシブル容量:12 ml ・基板ホルダ:冷却機構付(水冷) ・蒸発源―基板間:500 mm ・試料導入:ロードロック自動搬送 ・真空排気システム:到達圧力1×10^-5 Pa以下、オイルフリー、自動排気 ・成膜:水晶振動子膜厚モニタによる自動制御 ・膜厚分布:10 %以内@200mm ・常設ソース材料: Ti, Cr, Au, Cu, Al, |
