装置の紹介[NPF]

【NPF108】イオンコーター(エリオニクス)

名称 【NPF108】イオンコーター(エリオニクス)
メーカー
導入年月日 2021-12-10
仕様 チャージアップ抑制のためのSEM用コーター。Pt 及びW のコーティングが可能です。CR1(1F)に設置。

・型式:ESC-10
・試料サイズ:25㎜φ×15㎜t
・放電方式:ホロアノードマグネトロン型
・電圧:単層AC100V
・電流:9A
・コーティングレート: 10nm/m (Pt)、3.5nm/m (W)
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