装置の紹介[NPF]

【NPF107】3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス）

名称	【NPF107】3次元電界放出形走査電子顕微鏡（エリオニクス）
メーカー	エリオニクス
導入年月日	2022-03-31
仕様	本装置は、電界放出型電子銃を備えた走査電子顕微鏡である。試料台にはリタ―ディング電圧が印加可能で、減速静電レンズ効果による低ランディング・エネルギーでの解像性向上が確保されている。また、独立した２次電子検出器が４つ備わり、それぞれの検出器で収集した２次電子電流の加算・減算演算に基づく３次元立体画像の取得ができる。・型式:ERA-9200 ・試料サイズ:4インチφ, 16mmt ・電子銃:ZrO/Wショットキ―電界放射型・加速電圧:1～30 kV ・リタ―ディング電圧:3kV ・分解能:0.4nm以下（30keV）、0.5nm以下（15keV）、0.7nm以下（1keV）・可動範囲:30×50mm（X-Y）、1～30mm（Z）、-5～45°（Tilt）・検出器:2次電子検出器（４本）