装置の紹介[NPF]
【NPF106】小型自動現像装置
| 名称 | 【NPF106】小型自動現像装置 |
|---|---|
| メーカー | |
| 導入年月日 | 2021-12-10 |
| 仕様 | フォトレジストの半自動現像が行えます。 ・型式:AD-1200 ・試料サイズ:10ｍｍ～4インチ ・試料固定:真空吸着固定式 ・回転数:3000rpm ・回転制御:プログラムメモリー機能 ・薬液:NMD-3、純水 |
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| 名称 | 【NPF106】小型自動現像装置 |
|---|---|
| メーカー | |
| 導入年月日 | 2021-12-10 |
| 仕様 | フォトレジストの半自動現像が行えます。 ・型式:AD-1200 ・試料サイズ:10ｍｍ～4インチ ・試料固定:真空吸着固定式 ・回転数:3000rpm ・回転制御:プログラムメモリー機能 ・薬液:NMD-3、純水 |