装置の紹介[NPF]
【NPF091】自動塗布現像装置
| 名称 | 【NPF091】自動塗布現像装置 |
|---|---|
| メーカー | 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ |
| 導入年月日 | 2019-10-01 |
| 仕様 | フォトレジスト専用の自動レジスト塗布・現像装置です。 ・型式:RCDA 4100 ・試料サイズ:2インチφ、4インチφ オートローダー仕様 ・スピンコートレシピ数:28 ・現像レシピ:46 ・レジスト: i線用2系統(住友化学PFI-38A7、住友化学PFI-89B4) ・現像液:東京応化NMD-3(TMAH2.38%) |
